傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。
半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。