【カタログプレビュー】エキシマ照射ユニット
ドライ洗浄、親水化／濡れ性向上、密着性／接着性向上、アッシング／残渣除去などさまざまなアプリケーションに対応するエキシマ照射ユニット
反応性の高い励起酸素原子(O3p、O1D)や各種ラジカルを短時間で生成することが可能
反応性の高い励起酸素原子(O3p、O1D)や各種ラジカルを短時間で生成することが可能
発行元：ウシオ電機(株)
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