直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。
今回、SAシリーズの200サイズに新規追加したX軸テーブルによって、SAシリーズのバリエーションが拡充し、多様な装置のアライメント機構や位置決め機構に貢献します。