～ウエハーボンディング工程の圧力検査を効率化～

富士フイルム株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長・CEO：後藤 禎一）は、圧力測定フィルム「プレスケール」*1の新ラインアップとして、半導体製造工程における圧力検査向けに、ウエハー形状に合わせた円形タイプ「円形プレスケール」を2026年6月8日より発売します。

「プレスケール」は、接触した物同士の圧力や面圧のバランス・分布を可視化できるフィルムで、当社がグローバル市場シェアトップです。圧力が加わると赤く発色し、その濃淡により圧力の大小を視覚的に確認できることから、ディスプレイや電子部品、自動車、電池、包装業界など幅広い分野の開発・製造工程で活用されています。

昨今、半導体分野では製造プロセスの高度化に伴い、工程内での圧力検査の重要性が増しています。特に、AIや次世代通信の普及を背景に半導体の微細化・積層化が進む中、ウエハーやチップを接合する「ウエハーボンディング」工程において、接合の精度や安定性に対する要求が一層高度化しています。こうした中、わずかな圧力のばらつきが半導体の性能に影響することから、接合時の圧力状態を高精度に検査したいというニーズが高まっています。

今回当社は、半導体の製造で現在主流の12インチ（φ300mm）ウエハー形状に合わせて設計した圧力測定フィルム「円形プレスケール」を発売します。検査時にウエハーの大きさや形状にあわせて圧力測定フィルムをカットする必要がなく、そのまま使用できるため、検査の工数・時間を削減できます。さらに、「円形プレスケール」は常温～220℃までの圧力測定に対応しているため、装置が加熱され高温であっても圧力を正確に測定できます。

また、「プレスケール」の発色画像をモバイル端末で読み取ることで、画像を解析し圧力を数値化できるモバイルアプリ「プレスケールモバイル」*2に、今回発売する「円形プレスケール」の読み取り機能を搭載しました。さらに、「プレスケール」の画像を高解像度FAカメラ（Factory Automation Camera）で読み取ることで、圧力の定量化を実現する「プレスケール」専用の圧力画像解析装置「プレスケールステーション」*3は、本年7月に「円形プレスケール」に対応予定です。

当社は、開発・製造現場における検査業務のデジタル化と効率化を実現する製品の開発・提供を通じて、お客さまの製造品質の向上・安定化に貢献していきます。

*1 当社の精密塗布技術とマイクロカプセル技術を活用して、圧力や面圧のバランス、分布を簡単に可視化できるフィルム。「プレスケール」には、測定する圧力に応じて、ツーシートタイプ（発色剤と顕色剤が別々の支持体に塗布されたフィルム）と、モノシートタイプ（1枚の支持体に発色剤と顕色剤が塗布されたフィルム）の二種類がある。今回発売する「円形プレスケール」はツーシートタイプ。

*2 当社の高度な画像処理技術を生かし、「プレスケール」の発色画像から圧力を定量化できるモバイルアプリ。発色した「プレスケール」を専用撮影台紙（キャリブレーションシート）の上に置き、本アプリをインストールしたモバイル端末で読み取るシンプルなワークフローで、最大・最小圧力や平均圧力、加圧面積など13種の圧力情報を数値化。誰でも簡単に高精度な圧力検査を行うことが可能。

*3「プレスケール」の発色画像を解析し圧力を数値化できる専用の圧力画像解析装置。