ウエハーレベルでのデバイス特性評価用プラットフォーム「WaferPro Express 2015」を発表
2015/05/19
キーサイト・テクノロジー株式会社
～さまざまな画期的機能により、カスケード・マイクロテック社と共同のウエハーレベル測定ソリューションプログラムがさらに前進～
東京、2015年5月18日発 –キーサイト・テクノロジー合同会社（職務執行者社長：梅島 正明、本社：東京都八王子市高倉町9番1号）は、ウエハーレベルのデバイスおよび回路コンポーネントの自動特性評価用測定ソフトウェアプラットフォーム、WaferPro Express 2015を発表します。WaferPro Expressは、測定器やウエハープローバも含むウエハーレベル測定システムを効率よく制御することで、測定セットアップの複雑さを軽減し、効率的な自動測定とデータ管理を実現する統合プラットフォームです。
現在、半導体製造工場以外でも大量のウエハーレベル測定が必要となっており、多くの研究開発チームがデバイスモデリング、プロセスモニタリング、信頼性などのアプリケーションで、さまざまな温度条件で大量のデータを測定しています。そのため、研究開発時のデバイス特性評価でもセミ・オート／オートプローバが標準となりつつあります。
WaferPro Express 2015の最も画期的な特徴の1つは、カスケード・マイクロテック社のVelox 2.0プローバ制御ソフトウェアとの統合です。WaferPro ExpressとVelox 2.0は、共同開発した双方向通信リンクであるカスケード・マイクロテック社のWaferSyncを介して統合されます。このリンクによってウエハーマップを完全に同期できるため、ウエハーの位置調整、サイト、ダイ情報を含めて、ソフトウェア間でエラーのない情報交換を容易に実現します。
新しいWaferPro ExpressとVelox 2.0のリンク以外にも、ユーザビリティの大幅な改善により、測定システムのセットアップ時間を短縮できます。WaferPro Expressでは、RF測定中の効率をさらに高めるため、RF校正の安定度を定期的にモニタします。安定度をモニタすることで、不正確なデータの収集を最小限にできます。
当社EEsof EDAのマーケティングマネージャーであるCharles Plottは次のように語っています。「WaferPro Express 2015は、当社とカスケード・マイクロテック社の協調の賜物であり、ウエハーレベル測定ソリューション（WMS: Wafer-Level Measurement Solution）を提供する2社共同のプログラムにおいて大きな節目といえます。このウエハーレベル測定ソリューション(WMS)プログラムでは、保証されたシステムの構成、インストール、サポートをお客様に提供します。このプログラムの要となるソフトウェアとしてWaferPro Expressは、すべてのシステムコンポーネントを結び、優れた柔軟性によってお客様がすぐに測定に着手できるようにします。」
DC/RF測定の代表的なウエハーレベル測定ソリューション(WMS)構成では、当社のPNAまたはPNA-Xネットワーク・アナライザとB1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ、カスケード・マイクロテック社のウエハー・プローブ・ステーション、WinCal XE校正ソフトウェア、校正用インピーダンス基準サブストレートが統合されています。WMS構成はあらかじめ検証され、最適化されているため、デバイスとコンポーネントの特性評価を再現性高く正確に行えます。新しくインストールしたシステムの検証には、Keysightベリフィケーション・サブストレート(KVS: Keysight Verification Substrate)が使用されます。各KVSは、工場で特性評価／検証されており、エンジニアがRF校正後にG-S-Gプローブを使ってプローブできる標準デバイスを装備しています。WaferPro Express 2015は、初期システム検証手順中にKVSを測定します。さらに、測定データと工場データを比較しシステムの適切な動作を保証します。
WaferPro Express 2015のその他の新機能には、雑音指数測定のサポートとKeysight IC-CAPモデリング／測定ソフトウェアで開発されたテストルーチンのインポート機能があります。この新しい雑音指数測定機能によって、最新のKeysight PNA-X測定器ドライバーで使用可能なソフトウェア：利得圧縮、2トーン相互変調歪み、Sパラメータ測定などをさらに補完できます。
WaferPro Expressについて
WaferPro Expressは、測定条件の管理やデータ保存が容易なプラットフォームを提供することにより、研究開発時の測定の複雑さを軽減します。多くのターンキー操作が用意されており、ユーザーは一般的な測定をすぐに実行できます。Pythonスクリプトを利用したカスタマイズも可能です。Pythonスクリプトは、測定データの解析、重要な性能指数の予測と保存、データモニタリングのカスタマイズ、専用アルゴリズムが用いられている計測器ドライバーの置き換えや補完などで一般的に使われています。
東京、2015年5月18日発 –キーサイト・テクノロジー合同会社（職務執行者社長：梅島 正明、本社：東京都八王子市高倉町9番1号）は、ウエハーレベルのデバイスおよび回路コンポーネントの自動特性評価用測定ソフトウェアプラットフォーム、WaferPro Express 2015を発表します。WaferPro Expressは、測定器やウエハープローバも含むウエハーレベル測定システムを効率よく制御することで、測定セットアップの複雑さを軽減し、効率的な自動測定とデータ管理を実現する統合プラットフォームです。
現在、半導体製造工場以外でも大量のウエハーレベル測定が必要となっており、多くの研究開発チームがデバイスモデリング、プロセスモニタリング、信頼性などのアプリケーションで、さまざまな温度条件で大量のデータを測定しています。そのため、研究開発時のデバイス特性評価でもセミ・オート／オートプローバが標準となりつつあります。
WaferPro Express 2015の最も画期的な特徴の1つは、カスケード・マイクロテック社のVelox 2.0プローバ制御ソフトウェアとの統合です。WaferPro ExpressとVelox 2.0は、共同開発した双方向通信リンクであるカスケード・マイクロテック社のWaferSyncを介して統合されます。このリンクによってウエハーマップを完全に同期できるため、ウエハーの位置調整、サイト、ダイ情報を含めて、ソフトウェア間でエラーのない情報交換を容易に実現します。
新しいWaferPro ExpressとVelox 2.0のリンク以外にも、ユーザビリティの大幅な改善により、測定システムのセットアップ時間を短縮できます。WaferPro Expressでは、RF測定中の効率をさらに高めるため、RF校正の安定度を定期的にモニタします。安定度をモニタすることで、不正確なデータの収集を最小限にできます。
当社EEsof EDAのマーケティングマネージャーであるCharles Plottは次のように語っています。「WaferPro Express 2015は、当社とカスケード・マイクロテック社の協調の賜物であり、ウエハーレベル測定ソリューション（WMS: Wafer-Level Measurement Solution）を提供する2社共同のプログラムにおいて大きな節目といえます。このウエハーレベル測定ソリューション(WMS)プログラムでは、保証されたシステムの構成、インストール、サポートをお客様に提供します。このプログラムの要となるソフトウェアとしてWaferPro Expressは、すべてのシステムコンポーネントを結び、優れた柔軟性によってお客様がすぐに測定に着手できるようにします。」
DC/RF測定の代表的なウエハーレベル測定ソリューション(WMS)構成では、当社のPNAまたはPNA-Xネットワーク・アナライザとB1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ、カスケード・マイクロテック社のウエハー・プローブ・ステーション、WinCal XE校正ソフトウェア、校正用インピーダンス基準サブストレートが統合されています。WMS構成はあらかじめ検証され、最適化されているため、デバイスとコンポーネントの特性評価を再現性高く正確に行えます。新しくインストールしたシステムの検証には、Keysightベリフィケーション・サブストレート(KVS: Keysight Verification Substrate)が使用されます。各KVSは、工場で特性評価／検証されており、エンジニアがRF校正後にG-S-Gプローブを使ってプローブできる標準デバイスを装備しています。WaferPro Express 2015は、初期システム検証手順中にKVSを測定します。さらに、測定データと工場データを比較しシステムの適切な動作を保証します。
WaferPro Express 2015のその他の新機能には、雑音指数測定のサポートとKeysight IC-CAPモデリング／測定ソフトウェアで開発されたテストルーチンのインポート機能があります。この新しい雑音指数測定機能によって、最新のKeysight PNA-X測定器ドライバーで使用可能なソフトウェア：利得圧縮、2トーン相互変調歪み、Sパラメータ測定などをさらに補完できます。
WaferPro Expressについて
WaferPro Expressは、測定条件の管理やデータ保存が容易なプラットフォームを提供することにより、研究開発時の測定の複雑さを軽減します。多くのターンキー操作が用意されており、ユーザーは一般的な測定をすぐに実行できます。Pythonスクリプトを利用したカスタマイズも可能です。Pythonスクリプトは、測定データの解析、重要な性能指数の予測と保存、データモニタリングのカスタマイズ、専用アルゴリズムが用いられている計測器ドライバーの置き換えや補完などで一般的に使われています。
