今回発表する「超精密平面度測定装置 SF-640M」は、精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発しました。当社のシリコンウェーハ用超精密測定装置である「ナノメトロ」の技術とノウハウを応用した当機は、平面とエッジの高精度な評価を可能にし、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形で評価することが可能です。加工から計測まで幅広いソリューションを提供する黒田精工ならではの商品です。
平面研削盤の加工精度は向上の一途にありますが、その加工ワークの精度を証明することも求められています。従来、広面積のワーク平面の表面形状をこのような形で精密に測定し表示するためには、3次元測定機が必要でしたが、より簡便に測定ができるシステムとして本商品を開発しました。当機は、「見えない世界を見える世界へ」をコンセプトとし、接触式測定子または非接触式レーザー(オプション)でワークの表面をスキャンすることで、ワーク全体の様子を豊富なユーザインターフェースで表示できることが特長です。測定ワークの材質は金属に限らず、ガラス、セラミックス、各種ウェーハなどに対応し幅広い用途で活用することができます。

測定ヘッドの案内には高精度エアスライドを採用し、駆動方式はリニアモータとサーボモータ・ボールねじを採用しました。最大測定ワークは、650×450mm、40kg まで、総合測定精度は0.6μm、繰り返し精度は0.1μm、表示分解能は0.01μm となっております。

SF-640M は11月17日より開催されるJIMTOF2016 にて初出展し、受注を開始致します。販売見込みは、初年度に10 台を計画しております。

また、JIMTOF2016 においては、高精度が要求される光学製品に向けた金型需要の高まりを受け、加工(平面研削盤)、測定(超精密平面測定装置)、仕上げ加工(ポリシングマシン)の3 要素の提案を行います。