従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。お気軽にお問合せください。
■特長
・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。
・検査ユニットとのドッキングが可能です。
・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応することが出来ます。
・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。