Xiton Photonics社の213nm DUV QスイッチLD励起レーザー「IMPRESS-213」を発売
2014/06/10
(株)日本レーザー
(株)日本レーザーは、独国Xiton Photonics社(キトン・フォトニクス)のDUV Qスイッチ LD励起レーザー モデルIMPRESS-213の販売を開始した。
IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーである。低メンテナンスで連続運転可能なシステムであるため、特に産業用途に好適である。従来は224nmのみであったが、新たに213nm, 150mW出力モデルが発売された。
本製品はTEM00、M2<1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に好適である。またAr+レーザーの代替システムとしても使用できる短波長ビームで、直接描画用途では1μm未満のストラクチャにも対応できる。パルス幅は7ns未満。RS-232インタフェースによる完全PC制御が可能なほか、他の外部トリガーモードによるコントロールも可能である。
IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーである。低メンテナンスで連続運転可能なシステムであるため、特に産業用途に好適である。従来は224nmのみであったが、新たに213nm, 150mW出力モデルが発売された。
本製品はTEM00、M2<1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に好適である。またAr+レーザーの代替システムとしても使用できる短波長ビームで、直接描画用途では1μm未満のストラクチャにも対応できる。パルス幅は7ns未満。RS-232インタフェースによる完全PC制御が可能なほか、他の外部トリガーモードによるコントロールも可能である。