製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. (株)写真化学
  4. 製品
  5. ファイバー式膜厚モニタ

ファイバー式膜厚モニタ

(株)写真化学

最終更新日:2020/01/11

このページを印刷
  • ファイバー式膜厚モニタ
9層の同時測定に対応
本製品は、光干渉法を用い、9層の多層膜測定が可能な小型プローブを搭載した膜厚モニタ。膜厚測定再現性：0.1nm以下(3シグマ)。メンテナンス性に優れており、プロセス装置内への組込みやライン管理に利用できる。成膜、研磨、エッチングプロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタ(終点検出センサ)として活用でき、膜厚のリアルタイムモニタリング(実時間監視)が行える。ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価にも適している。光源は、白色LED／タングステンハロゲン／重水素・ハロゲンの3タイプから選択可能。
    　　　　　　　　

  • 製品のサイトへ

一緒に閲覧されている製品

ファイバー式膜厚モニタのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧