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共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム confocalDT

MICRO-EPSILON Japan(株)

最終更新日:2020/10/02

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  • 共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム confocalDT
ほぼあらゆる表面で正確な変位・距離測定が可能
【confocalDT】は、素早く距離測定と厚さ測定を行える共焦点クロマティック式測定システム。さまざまなセンサモデルやコントローラインターフェースがあり、半導体産業やガラス産業、医療技術、プラスチック製造といった多種多少な分野に役立てることができる。光点が小さいため、微細な構造も確実に測定できる。共焦点クロマティック式による測定原理は、ガラスのような透明な物質の厚さ測定が可能で、1つのセンサだけで厚さをマイクロメーターまで正確に検知。コントローラ内にはそれぞれ編集や拡張が可能な物質データバンクが入っており、屈折率のような物質ごとに特有となるパラメータは、ウェブインターフェースを介して簡単に適応させることができる。ピークは最大6つまで評価できるので(マルチピーク測定)、合わせガラスといった多層の対象物も測定可能。コントローラ「confocalDT IFC2471HS」は測定レートが70kHzと世界最速クラスで、主に動的モニタリングタスクに使用されている。仕様により、真空空間のような厳しい環境にも対応。

製品カタログ・資料

共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム confocalDT
共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム confocalDT

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:8.52MB【confocalDT】は、素早く距離測定と厚さ測定を行える共焦点クロマティック式測定システム。さまざまなセンサモデルやコントローラインターフェースがあり、半導体産業やガラス産業、医療技術、プラスチック製造といった多種多少な分野に役立てることができる。光点が小さいため、微細な構造も確実に測定できる。共焦点クロマティック式による測定原理は、ガラスのような透明な物質の厚さ測定が可能で、1つのセンサだけで厚さをマイクロメーターまで正確に検知。コントローラ内にはそれぞれ編集や拡張が可能な物質データバンクが入っており、屈折率のような物質ごとに特有となるパラメータは、ウェブインターフェースを介して簡単に適応させることができる。ピークは最大6つまで評価できるので(マルチピーク測定)、合わせガラスといった多層の対象物も測定可能。コントローラ「confocalDT IFC2471HS」は測定レートが70kHzと世界最速クラスで、主に動的モニタリングタスクに使用されている。仕様により、真空空間のような厳しい環境にも対応。

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企業基本情報

社名:
MICRO-EPSILON Japan(株)
住所:
〒 564-0063
吹田市江坂町1-23-43 ファサード江坂ビル1003
Web:
https://www.micro-epsilon.jp/
TEL:
0661705257