太陽電池用シリコンウエハセパレーター MB2000
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷1枚/2秒でウエハの良・不良を分別
【MB2000】は、粗洗浄後の積み重なった140〜200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置。ファイバーセンサーにより割れ、欠けの検査を行い、不良品はコンベア上で分離し、回収BOXに送られる。また、空キャリアは投入コンベア上にセット・自動で移載され、バスケットが満杯になると排出され、空のウエハキャリアが投入される。装置寸法:W1100×D3550×H1500mm、ワーク(粗洗浄後の太陽電池用シリコンウエハ):156±0.5mm/156.5±0.5mm/125±0.5mm、126±0.5mm・厚み140〜200μm、処理能力:1枚/2秒。