硬くて脆いセラミックス素材の加工

東京電子工業は、半導体分野から通信機器、医療機器、車載機器など、多種多様な産業ニーズに応え、精密加工技術を通して、従来にない利便性や効率性を生む高付加価値を提供。セラミックスは、「硬くて脆い素材」の代表的な難素材だが、強度や耐熱性能に優れ、耐食性が高く、半導体製造プロセスにおいて欠かすことのできない素材である。同社は、パターン付き材料の高精度切断、厚みのあるセラミックスの高精度加工を実現。切断時のカケやクラックをなくし、表面のバリを抑制するなど、高度な要望に対し、妥協のない仕上がりで対応。複雑な形状にも対応可能。