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空冷式スパッタ電源 GSシリーズ：GS05-GS30

(株)スパッタリングコンポーネンツジャパン

最終更新日:2025/02/13

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  • 空冷式スパッタ電源 GSシリーズ：GS05-GS30
独・ADL社製、完全自動制御、強制空冷方式
【GSシリーズ：GS05-GS30】は、主に研究開発用の空冷式スパッタ装置をターゲットにした製品。容量：0.5～3kWまでをカバーした全11型式をラインアップ。異常放電(アーキング)は完全自動で制御されるため、プロセスごとの制御設定は不要。コントローラーを直接つないでの手動コントロール、またはコミュニケーションインターフェースを通じてスパッタ装置本体からの遠隔コントロールのいずれにも対応。高さ112×幅210×奥行512mmの小型設計。ディスプレイに電流、電圧、パワーを表示。
    　　　　　　　　
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空冷式スパッタ電源 GSシリーズ：GS05-GS30
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企業基本情報

社名：
(株)スパッタリングコンポーネンツジャパン
住所：
〒 272-0144
市川市新井3-25-14
Web：
https://sub.sc-jpn.com/