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超高真空用直線・回転導入機
最終更新日:2018/05/23
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250℃までの高温に対応
テクサムでは、ベローズ式回転式直線導入機、プッシュプル式直線回転導入機など、さまざまな仕様の製品を取り扱っている。また、オプションでDCステップモーター、高トルクDCステップモーター、リバーシブルACモーターなどを取り付けできる製品も用意。真空：1×10−10Torr、温度：250℃まで。
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