超精密両面研磨装置 DSM 13B-7-V／16B-5-V
最終更新日:2015/04/16
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4〜6インチの高精度加工物に対応
【DSM 13B-7-V／16B-5-V】は、4〜6インチの高精度加工物に対応し、ミクロンからサブミクロンまでの両面精密研磨が可能。水晶、ガラス、セラミックス、酸化物ウエハ、金属などあらゆる素材に対応。材料、形状、加工精度による複雑な加工プロセスにも対応。剛性の向上、円滑な駆動、鋳物ボディ採用などによる低振動も特長。
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