98μN~980mNまでの広い範囲を高精度に測定
【ENT-1100b】は、19μNという極低荷重の測定を電磁力駆動方式により高精度に行う押込み硬さ試験機。最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載しており、ねらいたい所の硬さや分布のより正確な測定を実現。さらに静電容量非接触変位計の採用により、0.3nmの分解能を保証、最大20μmまでの測定が可能。また試料観察には、CCDカメラを採用。PC上で測定ポイントを観察しながら位置決めが行え、測定データ、観察画面をハードディスクに記録できる。