レーザドップラ振動計用顕微鏡ユニット LV-0381/LV-0383
最終更新日:2016/12/09
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製品カタログ・資料
- レーザドップラ振動計用顕微鏡ユニット LV-0381/LV-0383
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:7.51MB【LV-0381/LV-0383】は、接触式で検出が困難なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)や圧電素子、微小構造体、超音波駆動の対象振動の検出が可能な微小物体の振動検出用のレーザドップラ振動計用、光学ユニット。LV-0381は1軸方向の顕微鏡ユニットで、最小2.5μmのレーザスポット径での振動検出が可能。LV-0383は、3台のレーザドップラ振動計により3軸方向に発生する振動を非接触で検出可能な三次元顕微鏡ユニットであり、0.3Hz〜100kHzの3軸方向の振動検出が可能。各ユニットは、同軸落射照明と倍率の違う2台のディジタルビデオカメラ(オプション)で素早く正確なレーザ光の照射位置決めと、静止画像記録が可能。振動周波数の解析範囲は最大100kHzで、対象の X、Y、Z 方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が行える。
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