200MHz対応光ヘテロダイン微小振動測定装置

最終更新日:2016/08/04

200MHｚの振動計測が可能

本製品は、レーザドップラ効果を使用し、最大200MHｚまでの振動測定ができる振動測定装置。同社独自のHe-Neレーザ光源を使用し、従来の装置と同様に面外振動とともに面内振動も測定できる。SAWやMEMSの高周波で振動するピコメートルオーダの振動測定も可能。また、電動XYステージを用いてアニメーション化も可能。