除電システム MKSイオナイザー
最終更新日:2014/01/31
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ESDA規格クラスゼロに準拠
【MKSイオナイザー】は、半導体装置製造、装置局所除電取り付けファンタイプのクラスゼロ、エアガンタイプ、クリーンルーム全体の除電を行う除電システム。天井吊り下げ型などを豊富にラインアップ。また、除電リアルタイムで管理専用モニタリングシステムと組み合わせることにより、常に最高の除電環境を保つことが可能。
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