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超高純度流体用圧力センサ 227シリーズ

センシングICGジャパン株式会社

最終更新日:2025/11/21

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  • 超高純度流体用圧力センサ 227シリーズ
継手ブロックタイプで半導体製造関連装置に最適
【227シリーズ】は、超高純度(Ultra-HighPurity:UHP)流体に特化した可変静電容量型圧力センサ。流体接続部は1-1/8インチ継手ブロックタイプのため、半導体製造関連装置でも使用いやすいうえ、高精度かつ長期安定性にも優れているため、さまざまな用途にて活用できる。

仕様

型番227
用途半導体製造関連装置
半導体ガス供給系集積化システム
ガス供給システム など

その他の情報

    ・ベースブロックタイプへの取付が可能
     1-1/8インチ継手ブロック採用 ⇒ スペースの限られた装置内を有効活用

    ・耐腐食性に優れた接続部
     接液部はSemi規格 F19/F20 に準拠した 316L VIM/VARステンレススチールを採用

    ・多様な構成オプション
     出力 6タイプ : 電圧タイプ(4種類)、電流タイプ(2種類)をご用意
     電気的接続 4タイプ : バヨネットコネクタタイプ、D-subコネクタタイプ など
     ⇒
     用途に合わせた選択と組合せが可能

製品カタログ・資料

超高純度流体用圧力センサ227シリーズ カタログ
超高純度流体用圧力センサ227シリーズ カタログ

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会社情報

センシングICGジャパン株式会社

センシングICGジャパン株式会社(旧社名:フォーティブICG ジャパン株式会社)は、フォーティブブランドであるHengstler(ヘンクストラ:エンコーダ、カウンタなど)、Gems(ジェムス:液面レベル計、流量計、圧力計、小型電磁弁など)、Thomson(トムソン:電動アクチュエータ、クラッチ、ブレーキ、リニアベアリング、リニアスクリューなど)の日本拠点として、日本のお客様への製品販売及びサポートを行っております。

センシングICGジャパン株式会社
〒 564-0044  吹田市南金田2-12-23
電話 : 0120-083-081

https://www.fortive-icg.jp/
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社名:
センシングICGジャパン株式会社
住所:
〒 564-0044
吹田市南金田2-12-23
Web:
https://www.fortive-icg.jp/
TEL:
0120-083-081

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