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超小型圧力センサ P-7100シリーズ

ニデックコンポーネンツ(株)

最終更新日:2014/10/09

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  • 超小型圧力センサ P-7100シリーズ
超小型・軽量のため、機器組込用途に最適
【P-7100シリーズ】は、一般産業機器や半導体製造装置、医療機器向けなどの気体や液体の圧力計測用に開発された超小型圧力センサ。感圧素子に拡散型半導体素子を用いた二重ダイアフラム構造で、ダイアフラム材質に高耐食性のSUS316Lを採用。また、デジタル温度補償回路をCOB実装(chip on board)することで小型軽量かつ高精度、高信頼性を実現している。圧縮機、汎用ポンプ、燃料電池、真空機器、真空包装機、水処理装置など、装置や機器の組込み用途に適している。

製品カタログ・資料

超小型圧力センサ P-7100シリーズ カタログ
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