高精度レーザ変位センサ CDXシリーズ 正反射タイプ
最終更新日:2021/11/04
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世界最高クラスのリニアリティを実現
本製品は、高精度レーザ変位センサ「FASTUS CDXシリーズ」に加わった正反射タイプ(測定範囲：15±1mm、分解能：0.01μm)と、ショートレンジタイプ(拡散反射設置時の測定範囲：30±5mm、分解能：0.05μm)。ショートレンジのワイドタイプはリニアリティ±0.015％F.S.を達成し、測定誤差を最小限に抑制。ガラスやウェハなど透明体・鏡面体の測定に最適で、FPD・半導体・電子部品業界をはじめとした産業分野で幅広く活用できる。
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製品カタログ・資料
- 超高精度レーザ変位センサ CDXシリーズ
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