拡散炉・CVD炉用高温断熱材 断熱リング
最終更新日:2014/02/01
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酸化ホウ素を含有しない高耐熱性・長寿命
【断熱リング】は、外皮材と縫糸に高耐熱性アルミナ長繊維を使用した長寿命な拡散炉・CVD炉用高温断熱材。外皮材組成はAL2O3：72％、SIO2：28％、繊維は直径わずか7μと細く柔軟性に優れる。石英チューブや炭化ケイ素チューブの形状に合わせて加工可能。
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