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二次元レーザ変位センサ 2DLPS-015
最終更新日:2014/01/31
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高分解能センサヘッドでより高精度計測が可能
【2DLPS-015】は、検査対象の表面形状を幅1.5mm、深さ1.0mmの範囲において±0.1μmの繰返し精度で測定できる高分解能二次元レーザ変位センサ。線状のレーザ光により1.5mm幅の変位を一括測定でき、2.1μmピッチでセンサを720台並べたのと等価な計測が可能。非接触でできるため、微細な部位、軟らかい物なども測定可能。
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