カップリング XSTS
最終更新日:2014/02/01
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低パーティクル・耐薬品性のクリーン仕様
【XSTS】は、円筒材にスリットを入れた完全一体構造の金属ばねカップリング。ねじり剛性が高く、応答性に優れ、スリットで形成された板ばねにより、偏心・偏角・エンドプレイを許容する。正転・逆転の特性は同一で、高フレキシブルタイプを標準化しており、FPD製造装置・半導体製造装置など耐薬品性を要求される環境に好適。
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