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原子層蒸着(ALD)用バルブ技術情報資料

スウェージロック・ジャパン

最終更新日:2021/11/09

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半導体業界の課題やALDバルブの技術情報をまとめた技術情報資料進呈
スウェージロックは、大流量・高温・高性能の豊富なALDバルブ製品ラインアップの開発背景や概要、技術情報をひとつにまとめた資料を提供。ユーザーのさらなる技術発展に貢献する。ALDプロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められており、同社のALD用バルブは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速かつ再現性に優れた性能を発揮する。また、より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも適している。

【掲載内容】
■半導体業界の課題と今後必要となること
■ALD(原子層蒸着)用バルブとは
■ALD20超高純度用バルブのご紹介
■技術情報(全20ページ)

製品カタログ・資料

システムに最適なALDバルブで課題解決
システムに最適なALDバルブで課題解決

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:3.48MB大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ。 ALD(原子層蒸着)プロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められます。 スウェージロックの「原子層蒸着(ALD)用バルブ」は、サイクル・ライフが非常に優れ、高速かつ再現性に優れた性能を発揮。 より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも優れています。 ただいま、大流量・高温・高性能の豊富なALD製品ラインアップの開発背景や概要、技術情報をひとつにまとめた資料を進呈中。 お客さまのさらなる技術発展に、共に挑みます。

会社情報

スウェージロック・ジャパン

工場最適化に、Swagelokのソリューションを。

スウェージロック・ジャパン
〒 663-8142  西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 07-9828-6300

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