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原子層蒸着(ALD)用バルブ技術情報資料

日本スウェージロックFST

最終更新日:2022/07/12

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半導体業界の課題やALDバルブの技術情報をまとめた技術情報資料進呈
スウェージロックは、大流量・高温・高性能の豊富なALDバルブ製品ラインアップの開発背景や概要、技術情報をひとつにまとめた資料を提供。ユーザーのさらなる技術発展に貢献する。ALDプロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められており、同社のALD用バルブは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速かつ再現性に優れた性能を発揮する。また、より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも適している。

製品カタログ・資料

ALDバルブ技術のブレイクスルー「ALD20超高純度バルブ」
ALDバルブ技術のブレイクスルー「ALD20超高純度バルブ」

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.85MBALDバルブ技術のブレイクスルー 大流量。高温。高性能。次世代の半導体製造は、ここから始まる 半導体デバイス製造市場では、効率、一貫性、革新性の向上が求められています。そこでスウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ技術のパイオニアとして、次世代の原子層蒸着プロセス・アプリケーションに必要な精度と性能に対する業界ニーズにお応えするべく、「ALD20 超高純度用バルブ」を開発しました。 【特長】 大流量化/フットプリントの最小化 妥協なき一貫性 卓越した品質/最適なデザイン

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私たちはお客さまと共に挑み続けます。

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〒 663-8142  西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 0798-77-1500

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