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【カタログプレビュー】ALDバルブ技術のブレイクスルー「ALD20超高純度バルブ」

ALDバルブ技術のブレイクスルー 大流量。高温。高性能。次世代の半導体製造は、ここから始まる

半導体デバイス製造市場では、効率、一貫性、革新性の向上が求められています。そこでスウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ技術のパイオニアとして、次世代の原子層蒸着プロセス・アプリケーションに必要な精度と性能に対する業界ニーズにお応えするべく、「ALD20 超高純度用バルブ」を開発しました。

【特長】
大流量化/フットプリントの最小化
妥協なき一貫性
卓越した品質/最適なデザイン
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おすすめ情報

  • カスタム・ソリューションズ

    流体システムのアセンブリー製作なら、スウェージロックにお任せください。
    スウェージロックならではの高品質のアセンブリー、パネル、エンクロージャーをお届けします。 プロによる一貫した流体システムのアセンブリーから、テスト、検査、梱包まで行います。なお、すべてのアセンブリーにはSwagelokリミティッド・ライフタイム保証が付いています。

  • 防爆型バルブ・システム・ユニット受託製作

    スウェージロック・ジャパンは、防爆仕様の設計から品質検査までをワンストップでカバーする、防爆型バルブ・システム・ユニットの受託製作サービスを行っている。製作図の作成が不要で、小ロット発注や世界各地で現地調達が可能なほか、組立て工程の生産性向上とモジュール単位での品質保証を実現。優れた安全対応機器と高い気密性配管の採用により、誤操作・誤作動を低減。安全性と作業性を両立した配管システムの構築をサポートする。国内防爆・国際防爆に対応。