【カタログプレビュー】ALDバルブ技術のブレイクスルー「ALD20超高純度バルブ」
ALDバルブ技術のブレイクスルー 大流量。高温。高性能。次世代の半導体製造は、ここから始まる
半導体デバイス製造市場では、効率、一貫性、革新性の向上が求められています。そこでスウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ技術のパイオニアとして、次世代の原子層蒸着プロセス・アプリケーションに必要な精度と性能に対する業界ニーズにお応えするべく、「ALD20 超高純度用バルブ」を開発しました。
【特長】
大流量化/フットプリントの最小化
妥協なき一貫性
卓越した品質/最適なデザイン
半導体デバイス製造市場では、効率、一貫性、革新性の向上が求められています。そこでスウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ技術のパイオニアとして、次世代の原子層蒸着プロセス・アプリケーションに必要な精度と性能に対する業界ニーズにお応えするべく、「ALD20 超高純度用バルブ」を開発しました。
【特長】
大流量化/フットプリントの最小化
妥協なき一貫性
卓越した品質/最適なデザイン
発行元:日本スウェージロックFST