超高精度X線CT自動検査装置 X-RAY INSPECTOR NXI-3700

【X-RAY INSPECTOR NXI-3700】は、ナノフォーカスのX線発生器(焦点寸法0.25μm)を採用した超高精度X線CT自動検査装置。シャープで高精細なX線画像を取得でき、微細な構造解析に威力を発揮。半導体デバイスコア材のスルーホールに充填された銅めっきや、フリップチップ実装で用いられるC4工法など、高度な実装技術が用いられた部位における極小サイズのボイドなど各種不良モードの自動検査に対応。鋳鉄定盤を基礎とした構造により、装置全体の剛性を極限まで向上。各駆動部にはリニアモーターを採用し、高加速・高速駆動時でも高い位置決め精度を実現。エアサスペンションも搭載し、外来振動の侵入を抑制するなど、高度な機械構造によって高い繰り返し精度を安定的に発揮。