【カタログプレビュー】高真空コーティング装置 ライカ EM ACE600

【ライカ EM ACE600】は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良いコーティング層を成膜することができる高性能・多機能な高真空コーティング装置。スパッタリング、カーボンスレッド蒸着、カーボンロッド蒸着、E-ビーム蒸着、Glowディスチャージによる親水化処理などの構成が可能。また、ライカ EM VCT100 真空クライオ・トランスファーシステムとの接続に対応している。ソリューション型のシステムのため、各種の装置とリンクすることができ、クライオSEMをはじめとする真空系、また大気非暴露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現可能。
発行元:ライカマイクロシステムズ(株)