【！-Miller】は、特に研究機関・大学で活用されているスパッタ装置。装置のフットプリントは1420×1060×H1670mm(参考値)と小さく、リーズナブルな価格にて提供。ロードロック室のあり／なしタイプを選択可能。タッチパネル操作で、レシピ管理、ログ管理、メンテナンスが容易。