300mmウェーハ観察用 ピエゾZ軸チップチルトステージWP120Bは、120ミクロンの全動作範囲で、ミリ秒単位の整定時間を維持しながら、サンプルの水平出し(＋／-50ミリラジアン)を可能にするピエゾステージです。3つのピエゾアクチュエータを並列に配置した内部構造、サブナノの分解能を持つ静電容量センサー搭載、独自のフレクシャーガイド機構により、スキャン中の姿勢角誤差(ピッチ・ロール)を2ミリラジアン未満に制御、高い平面度を維持します。