『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な
ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。

±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で
流量変化にすばやく追従。

この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、
極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。

【特長】
■10msの高速応答
■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。