高圧、低流量、様々な特性の流体を正確に測定出来るCODAシリーズ(最大4,000PSIA)。 ALICAT CODAシリーズ-コリオリ式マスフローメーター/コントローラー。

『BASISシリーズ』は、OEM供給用に開発された小型でローコストのALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 当社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用しています。 ±(1.5% Reading +0.5% F.S.)の正確な流量計測ができ、100msの制御応答で 目標流量へすばやく到達。 【特長】 ■ウォームアップ時間7…

『BIOシリーズ』は、バイオリアクター向け高精度フローコントロール。 ALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、高速データ記録を可能にする応答速度10ms。 【特長】 ・長期間の安定性:極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染…

『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100ms…

『L シリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による 20msの高速応答ができる液体用フローメーターです。 『LC/LCRシリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による100msの応答速度で指定流量へすばやく制御できる液体用フローコントローラーです。 希望流量を短時間で得られます。 …

『MCE/MCESシリーズ(SEMI規格)』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 『MCV/MCVSシリーズ(真空用)』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し…

『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計…

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS/MCRSシリーズ」や「MCW/M…

『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「…