『MCE/MCESシリーズ(SEMI規格)』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。
『MCV/MCVSシリーズ(真空用)』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

【特長】
■100msの制御応答
■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度
■10SCCMから20SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。