『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した
「MCS/MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」
などのラインアップをご用意しています。

【特長】
■100msの制御応答
■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。