真空を作る上で、一番の懸念事項であるリーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。
リークテスターとも呼ばれます。
測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーにヘリウムが最適とされています。
•軽い → 拡散しやすい
•分子が小さい → 極めて小さい孔へも浸入可能
•化学的に安定 → 製品を汚染せず、人体に対して無害
•大気中にほとんど存在しない → 測定器の誤検知を防ぐ
•ワールドワイドサービス ⇒ 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
•豊富なラインナップ ⇒ 用途に合わせて最適な機種を選択可能

【用途】
•自動車産業
•空調、冷媒
•半導体産業
•各種真空装置

【型番】ASM340
【概要】
•多目的モデル
•クラス最短のテスト開始時間を実現　⇒　15m3/h粗引きポンプ内蔵
•テスト開始時間の短縮　⇒　テスト開始可能ポート圧力　2,500Pa
•真空法/スニファー法　両モードに対応(ボタン操作で簡単切替)
•テストポートフランジ:DN25KF(NW25)
•ヘリウム排気速度:2.5 l/s
•最小検知可能リークレート (真空法):5E-13 Pa・m3/s
•最小検知可能リークレート (スニファー法):5E-10 Pa・m3/s
•測定可能ガス:4He, 3He, H2
•重量:32~56 kg