ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 【用途】 A100L / A200L 　•ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファ…

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 【特長】 •コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向…

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 【特長】 •排気速度:110～630(m3/h) •オイルフリー •水冷システムに温度セン…

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 【特長】 •クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半(22,00…

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 【特長】 •オイルフリー •低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ) •…

ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動 •大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績 •業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など •ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動 •付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能 •アクセサリー類自動認識 (プラ…

圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能 高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ド…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 【特長】 •極高真空領域での測定が可能 •ベーク温度:400℃(ケーブル接続時は200℃) •専用コントローラー IMG400(2ch) •ピラニゲージ、キャパシタンスゲージ接続可(2ch) 【用途】 •分析装置 •半導体装置 •加速器 …

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式です。 【特長】 •多様なニーズにお応えできるラインナップ 超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様 •加速器、放射光関係などの研究機関への納入実…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。 A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 【特長】 •エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース …

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 •専用コントローラー不要、省スペース •データロガー機能 •駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター(オプション) •持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。 •大気圧近辺で高精度で測定が可能(TPG202のみ) •1…

【型番】TPG361 【概要】 •アクティブライン用共通コントローラー •接続可能数:1 •リレー個数:2 【型番】TPG362 【概要】 •アクティブライン用共通コントローラー •接続可能数:2 •リレー個数:4 •真空度表示形式:同時表示可 【型番】TPG366 【概要】 •アクティブライン用共通コントローラー •接続可能数:6 •リレー個数:6 •真空度…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。 A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 アクティブライン •エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。 A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 アクティブライン •エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。 A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 アクティブライン •エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省…

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。 A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 アクティブライン •エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省…

一般的に、大気圧から中真空 (～10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 幅広く使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。 また、高真空を作り出す為に必要な主ポンプの補助ポンプとしても使用されます。 【用途】 •分析装置 •加速器 •核融合装置 •その他 【型番】DUO1.6 / DUO1.6M 【概要】 •Mシリーズはマグネットカップリン…

一般的に、大気圧から中真空 (～10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 幅広く使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。 また、高真空を作り出す為に必要な主ポンプの補助ポンプとしても使用されます。 【用途】 •分析装置 •加速器 •核融合装置 •その他 【型番】2005 【概要】 •排気速度:83 l/min(50Hz), 100 l/min(60Hz) •…

真空を作る上で、一番の懸念事項であるリーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。 リークテスターとも呼ばれます。 測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーにヘリウムが最適とされています。 •軽い → 拡散しやすい •分子が小さい → 極めて小さい孔へも浸入可能 •化学的に安定 → 製品を汚染せず、人体に対して無害 •大気…

真空を作る上で、一番の懸念事項であるリーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。 リークテスターとも呼ばれます。 測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーにヘリウムが最適とされています。 •軽い → 拡散しやすい •分子が小さい → 極めて小さい孔へも浸入可能 •化学的に安定 → 製品を汚染せず、人体に対して無害 •大気…