真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。

•専用コントローラー不要、省スペース
•データロガー機能
•駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター(オプション)
•持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。
•大気圧近辺で高精度で測定が可能(TPG202のみ)
•1000Pa以上はガス種に依存しない測定が可能(TPG202のみ)

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】TPG201
【概要】
•ピラニゲージ
•フランジ:16KF(NW16)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa
•X線限界:4 Bar

【型番】TPG202
【概要】
•ピエゾピラニゲージ
•フランジ:16KF(NW16)
•測定領域:上限1.2E5 Pa、下限5E-2 Pa
•X線限界:2 Bar