真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式です。

【特長】
•多様なニーズにお応えできるラインナップ
超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
•加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】TPR010
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニゲージ
•フランジ:10KF(NW10)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa

【型番】TPR017
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•耐腐食性&耐放射線ピラニゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa
•耐放射線:1E4 Gy

【型番】TPR018
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•超高真空&耐放射線ピラニゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限8E-2 Pa
•耐放射線:1E4 Gy

【型番】IKR050(内部バイトンシール)
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•コールドカソードゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限5E-1 Pa、下限2E-7 Pa

【型番】IKR060(内部バイトンシール)
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•超高真空&耐放射線コールドカソードゲージ
•フランジ:40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限5E-1 Pa、下限1E-8 Pa
•耐放射線:1E7 Gy

【型番】IKR070(内部バイトンシール)
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•超高真空&耐放射線コールドカソードゲージ
•フランジ:40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限5E-1 Pa、下限1E-9 Pa
•耐放射線:1E7 Gy

【型番】TPG300
【概要】
•モジュールライン用共通コントローラー
•接続可能数:4
•リレー個数:5　※要リレーボード(オプション)
•真空度表示形式:切替