圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能

高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

•使用環境に合わせて仕様選択可能
•ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
•ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

【用途】
分析装置
半導体装置
加速器
その他

•複合型ターボ分子ポンプ
•業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
•取り付け姿勢自由
•各種規格に対応:RoHS、CE、UL(1部)、Semi
•防塵、防水規格IP54適合