真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。

【特長】
•極高真空領域での測定が可能
•ベーク温度:400℃(ケーブル接続時は200℃)
•専用コントローラー IMG400(2ch)
•ピラニゲージ、キャパシタンスゲージ接続可(2ch)

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】IMR420
【概要】
•極高真空領域での測定が可能
•BAゲージ
•フランジ:40CF(ICF70)
•測定領域:上限1 Pa、下限2E-9 Pa
•X線限界:1E-10 Pa

【型番】IMR430
【概要】
•極高真空領域での測定が可能
•エクストラクターゲージ
•フランジ:40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E-2 Pa、下限2E-10 Pa
•X線限界:1E-10 Pa

【型番】IMG400
【概要】
•IMRシリーズ専用コントローラー
•接続可能数:2
•リレー個数:2
•真空度表示形式:切替