ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

【特長】
•クリーンアプリケーション用途
•長期メンテサイクル、約2年半(22,000時間)連続運転が可能　※ACP15は20,000時間
•パーティクルレスでクリーンな排気
•空冷式:冷却水不要　※ACP120Gのみ水冷仕様
•Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合
•様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意
1. 標準モデル:クリーンプロセス用
2. Gバージョン:腐食性ガス排気用
3. CVバージョン:水蒸気排気用
4. CPバージョン:ガス循環用
5. Rバージョン:耐放射線仕様
•多彩なオプションをご用意:パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等
•単相/三相モーター選択可能

【用途】
クリーンアプリケーション用途

【型番】ACP15
【概要】
•排気速度:232 l/min
•到達真空度:5 Pa　※パージなし
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN16 ISO-KF

【型番】ACP15G
【概要】
•Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル
•排気速度:232 l/min
•到達真空度:38 Pa　※パージあり
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN16 ISO-KF

【型番】ACP28
【概要】
•排気速度:448 l/min
•到達真空度:4 Pa　※パージなし
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP28G
【概要】
•Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル
•排気速度:448 l/min
•到達真空度:20 Pa　※パージあり
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP28CV
【概要】
•CVバージョン:水蒸気排気用モデル
•排気速度:448 l/min
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP28CP
【概要】
•CPバージョン:ガス循環用途向け専用モデル
•排気速度:614 l/min
•連続運転可能吸気口圧:101,300 Pa
•Heリークレート:5E-9 Pa m3/s
•吸気口径:DN25 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP40
【概要】
•排気速度:614 l/min
•到達真空度:4 Pa　※パージなし
•吸気口径:DN40 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP40G
【概要】
•Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル
•排気速度:614 l/min
•到達真空度:20 Pa　※パージあり
•吸気口径:DN40 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP40CV
【概要】
•CVバージョン:水蒸気排気用モデル
•排気速度:614 l/min
•吸気口径:DN40 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP40CP
【概要】
•CPバージョン:ガス循環用途向け専用モデル
•排気速度:614 l/min
•連続運転可能吸気口圧:101,300 Pa
•Heリークレート:5E-9 Pa m3/s
•吸気口径:DN40 ISO-KF
•排気口径:DN25 ISO-KF

【型番】ACP120G
【概要】
•Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル
•排気速度:1,580~1,860 l/min
•到達真空度:30 Pa(50Hz, パージあり), 10 Pa(60Hz, パージあり)
•吸気口径:DN50 ISO-KF
•排気口径:DN40 ISO-KF