真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。

A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

アクティブライン
•エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
•ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
•ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
•ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】CMR361
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E5 Pa、下限10 Pa
•最大許容圧力:3 Pa

【型番】CMR362
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E4 Pa、下限1 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR363
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E3 Pa、下限1E-1 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR364
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限110 Pa、下限1E-2 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR365
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限11 Pa、下限1E-3 Pa
•最大許容圧力:1.3 Pa

【型番】CMR371
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ　温度(45℃補正)
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E5 Pa、下限10 Pa
•最大許容圧力:3 Pa

【型番】CMR372
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ　温度(45℃補正)
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E4 Pa、下限1 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR373
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ　温度(45℃補正)
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限1.1E3 Pa、下限1E-1 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR374
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ　温度(45℃補正)
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限110 Pa、下限1E-2 Pa
•最大許容圧力:2 Pa

【型番】CMR375
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•セラミックキャパシタンスゲージ　温度(45℃補正)
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2"チューブ, Cajon 8 VCR
•測定領域:上限11 Pa、下限1E-3 Pa
•最大許容圧力:2 Pa