真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。

A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

【特長】
•エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
•2 種類のフィールドバスコンバーター (Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター) → システムコントラローラーで制御可能
•RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能 → 省ケーブル
•PC、PLC へのデータ転送可能なコントローラー → データ管理が容易で、コンパクト
•新たにゲージ本体にディスプレイ表示可の機種追加

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】CPT200
【概要】
•ガス種に依存しない、力学的な計測方式
•ピエゾゲージ
•フランジ:16KF(NW16), G1/4"
•測定領域:上限2E5 Pa、下限100 Pa
•最大許容圧力:4 Pa

【型番】PPT200
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限1E-2 Pa
•最大許容圧力:4 Pa

【型番】RPT200
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピエゾ&ピラニコンビネーションゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 16CF(ICF34)
•測定領域:上限1.2E5 Pa、下限1E-2 Pa
•最大許容圧力:4 Pa

【型番】HPT200
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニ&ホットカソードコンビネーションゲージ
•フランジ:40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限5E-8 Pa
•最大許容圧力:4 Pa

【型番】MPT200
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限5E-7 Pa
•最大許容圧力:4 Pa

【型番】DPG202
【概要】
•デジライン用共通コントローラー
•接続可能数:2
•リレー個数:2