ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

【用途】
A100L / A200L
　•ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
A103P
　•ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
ADHシリーズ
　•ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適　(水素、シラン系ガスに使用可能)


【型番】A100L / A200L
【概要】
•ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
•低振動、高スループット:20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
•高効率モーター採用による低消費電力化を実現
•コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能
•2段積み可能(吸気口向き水平のみ)

【型番】A103P
【概要】
•ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
•省エネ、省スペース

【型番】A4シリーズ
【概要】
•マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
•ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
•耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
•優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
•拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御(冷却水センサー、振動ボックス等)
•ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
•IP33、SEMI S2およびULに準拠

【型番】ADHシリーズ
【概要】
•ハイエンドプロセス用 高性能ドライポンプ
•N2ガスと同等レベルのH2ガス排気性能
•ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適　(水素、シラン系ガスに使用可能)
•マルチルーツ構造、高効率モーター、・アイドリングモードによる低消費電力化を実現
•ハイパワーモーターにより、大容量のパーティクル排出、ポンプ再起動時の故障を低減