ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

【特長】
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
•高スループット
•10m3までの大型チャンバーの排気が可能(オプション)
•耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)

【用途】
•コーティング
•フリーズドライ
•リークディテクション
など一般産業向け

【型番】ACG600G
【概要】
•Gバージョン:腐食性ガス排気用モデル
•排気速度:8,000 l/min(50Hz), 9,333 l/min(60Hz)
•到達真空度:9E-2 Pa　パージなし
•吸気口径:50ISO-KF
•排気口径:40ISO-KF