真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。 全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。 全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。

A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

アクティブライン
•エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
•ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
•ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
•ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能

【用途】
•分析装置
•半導体装置
•加速器
•核融合装置
•その他

【型番】IKR360
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•コールドカソードゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1 Pa、下限1E-7 Pa
•最大許容圧力:1E6 Pa

【型番】IKR361
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•コールドカソードゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1 Pa、下限1E-7 Pa
•最大許容圧力:1E6 Pa

【型番】IKR270
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•コールドカソードゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1 Pa、下限5E-9 Pa
•最大許容圧力:1E6 Pa

【型番】PKR360
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa
•最大許容圧力:1E6 Pa

【型番】PKR361
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa
•最大許容圧力:1E6 Pa

【型番】IMR265
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•プロセスイオンゲージ
•フランジ:16KF(NW16), 25KF(NW25), 40KF(NW40), 16CF(ICF34), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1.5E5 Pa、下限2E-4 Pa
•最大許容圧力:5E5 Pa

【型番】PBR260
【概要】
•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
•ピラニ&ホットカソードコンビネーションゲージ
•フランジ:25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70)
•測定領域:上限1E5 Pa、下限5E-8 Pa
•最大許容圧力:2E6 Pa