ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

【特長】
•排気速度:110～630(m3/h)
•オイルフリー
•水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
•パーティクル、液体に強い
• 独自の異形ピッチ型スクリュー方式: •エネルギー効率アップ
•冷却ガス不要、
•低回転数 3000 1/min
•低騒音

【用途】
産業機器製造装置など

【型番】Hepta100P
【概要】
•排気速度:1,883 l/min(50Hz), 2,167 l/min(60Hz)
•到達真空度:<5.0 Pa(50Hz), <1.0 Pa(60Hz)
•吸気口径:DN63-ISO-K
•排気口径:DN40-PN16

【型番】Hepta200P
【概要】
•排気速度:3,667 l/min(50Hz), 4,417 l/min(60Hz)
•到達真空度:<5.0 Pa(50Hz), <1.0 Pa(60Hz)
•吸気口径:DN63-ISO-K
•排気口径:DN50-PN16

【型番】Hepta300P
【概要】
•排気速度:5,333 l/min(50Hz), 6,417 l/min(60Hz)
•到達真空度:<5.0 Pa(50Hz), <1.0 Pa(60Hz)
•吸気口径:DN63-ISO-K
•排気口径:DN50-PN16

【型番】Hepta400P
【概要】
•排気速度:5,833 l/min(50Hz), 7,000 l/min(60Hz)
•到達真空度:<5.0 Pa(50Hz), <1.0 Pa(60Hz)
•吸気口径:DN100-ISO-K
•排気口径:DN80-PN16

【型番】Hepta630P
【概要】
•排気速度:10,500 l/min
•到達真空度:<5.0 Pa(50Hz), <1.0 Pa(60Hz)
•吸気口径:DN100-ISO-K
•排気口径:DN80-PN16