高い計測機能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計
熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせることにより、従来の計測方式では再現性の高い計測が難しかった数mL/min の微小液体流量の計測を実現しました。
流体状態の変化(気泡、脈動、流体温度等)の影響を受けにくく、計測対象流体の補正が容易(流体の熱伝導率にて補正)な使い易さを開発コンセプトとしました。ポンプ回転数、重量測定、流体供給時間の管理等の代替手法から置き換えて瞬間流量・積算流量を計測することにより、より確実な計測数値に基づく製造工程の品質管理や工程異常検知が可能になりました