3点から多点支持まで可能!装置の仕様・要求にあわせた微振動制御技術

『αシリーズ』は、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ微振動制御システムです。

アクティブ除振システムは、半導体装置、露光装置、検査装置の生産性向上/微振動制御ニーズに応える優れた除振性能、制振性能及びおよび復元性能を有します。

【特長】
■低域から優れた振動絶縁特性
■早い整定時間と正確な位置制御
■高い耐用性を保持